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半导体行业超纯水设备常用的仪表有哪些
-作 者: 莱特莱德超纯水     
-时 间: 2019/12/20 16:53:19
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  半导体行业超纯水设备在运行中,为了使设备能够安全稳定的运行,对设备起到监控的作用,需要安装一些仪器。下面小编来介绍一下半导体行业超纯水设备常用的仪表有哪些。

  1、温度表

  产水量与温度有关,为了求出“标准化”后的产水量,需对温度进行监测,半导体行业超纯水设备应进行记录。

  在此需要注意的是,当温度超过45℃时,膜元件会受损,所以原水加热系统还应设有超限报警、超温水自动排放和停运RO的保护。

  2、电导率表

  给水电导率表可设置报警,从给水电导率和产品水电导率可估计出RO的脱盐率。

  3、压力表

  出水压力表、给水压力表、排水压力表用于计算半导体行业超纯水设备的每一段压降,对产水量和盐透率维持稳定起到重要作用。

  4、pH表

  给水防止生成CaCO3垢,需加酸时,加酸后需装pH表。

  当使用醋酸纤维素膜时,除了防止CaCO3垢生成,更重要的是维持pH值为5。7。除指示、记录、设超限报警外,还可以自动控制不合格给水排放,并停运半导体行业超纯水设备,与流量表配合对加酸系统进行比例积分调节。

  5、流量表

  流量表用于监测产水量,使RO性能数据标准化,产品水流量应有指示、累计和记录;浓水排水流量表在运行中监测排水量,应有指示、累计和记录。

  6、氧化还原电位表

  经加亚硫酸氢钠消除余氯的给水,应装设氧化还原电位表,应有指示、记录、超限报警。

  关于半导体行业超纯水设备常用的仪表种类就介绍到这里了,通过这些仪表的检测,我们可以随时知道半导体行业超纯水设备的运行情况,及时发现设备是否出现故障,保证半导体行业超纯水设备的稳定运行。



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